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EE Text センサ・マイクロマシン工学

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※この電子書籍は紙版書籍のページデザインで制作した固定レイアウトです。 センサとマイクロマシンの基礎から応用まで解説した教科書! 【平成19年度 電気学会著作賞 受賞】  「電気学会-オーム社教科書新シリーズ共同出版企画」の1巻。電気・電子・機械系の専門課目であるセンサ・マイクロマシン工学の教科書。  本書は、センサとマイクロマシンの原理、微細加工から応用まで含めたマイクロマシンの技術、さらには化学・バイオを含む各種分野のセンサについて解説し、近年のセンサ・マイクロマシン分野の研究・開発の進展に対応している。 1章 本書の構成と使い方 2章 センサ・マイクロマシンの概要 3章 微細構造製作プロセス技術 4章 物理センサ 5章 マイクロアクチュエータとマイクロマシン 6章 化学センサとマイクロ化学システム
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あらすじ

※この電子書籍は紙版書籍のページデザインで制作した固定レイアウトです。 センサとマイクロマシンの基礎から応用まで解説した教科書! 【平成19年度 電気学会著作賞 受賞】  「電気学会-オーム社教科書新シリーズ共同出版企画」の1巻。電気・電子・機械系の専門課目であるセンサ・マイクロマシン工学の教科書。  本書は、センサとマイクロマシンの原理、微細加工から応用まで含めたマイクロマシンの技術、さらには化学・バイオを含む各種分野のセンサについて解説し、近年のセンサ・マイクロマシン分野の研究・開発の進展に対応している。 1章 本書の構成と使い方 2章 センサ・マイクロマシンの概要 3章 微細構造製作プロセス技術 4章 物理センサ 5章 マイクロアクチュエータとマイクロマシン 6章 化学センサとマイクロ化学システム

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