- 作者名：
- 出版社：
- オーム社
- 販売開始日：
- 2020年9月2日
- カテゴリ：
既刊(1巻 最新刊)
EE Text センサ・マイクロマシン工学
既刊(1巻 最新刊)
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※この電子書籍は紙版書籍のページデザインで制作した固定レイアウトです。
センサとマイクロマシンの基礎から応用まで解説した教科書！
【平成19年度 電気学会著作賞 受賞】
「電気学会-オーム社教科書新シリーズ共同出版企画」の1巻。電気・電子・機械系の専門課目であるセンサ・マイクロマシン工学の教科書。
本書は、センサとマイクロマシンの原理、微細加工から応用まで含めたマイクロマシンの技術、さらには化学・バイオを含む各種分野のセンサについて解説し、近年のセンサ・マイクロマシン分野の研究・開発の進展に対応している。
1章 本書の構成と使い方
2章 センサ・マイクロマシンの概要
3章 微細構造製作プロセス技術
4章 物理センサ
5章 マイクロアクチュエータとマイクロマシン
6章 化学センサとマイクロ化学システム
EE Text センサ・マイクロマシン工学の巻一覧
EE Text センサ・マイクロマシン工学の作品情報
あらすじ
※この電子書籍は紙版書籍のページデザインで制作した固定レイアウトです。
センサとマイクロマシンの基礎から応用まで解説した教科書！
【平成19年度 電気学会著作賞 受賞】
「電気学会-オーム社教科書新シリーズ共同出版企画」の1巻。電気・電子・機械系の専門課目であるセンサ・マイクロマシン工学の教科書。
本書は、センサとマイクロマシンの原理、微細加工から応用まで含めたマイクロマシンの技術、さらには化学・バイオを含む各種分野のセンサについて解説し、近年のセンサ・マイクロマシン分野の研究・開発の進展に対応している。
1章 本書の構成と使い方
2章 センサ・マイクロマシンの概要
3章 微細構造製作プロセス技術
4章 物理センサ
5章 マイクロアクチュエータとマイクロマシン
6章 化学センサとマイクロ化学システム
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