図解入門 よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み［第3版］

半導体産業は、全世界で数十兆円の市場を形成している先端産業です。高性能で高額な半導体製造装置に負うところが多い産業のため、設備産業といわれています。本書は、半導体製造装置について、実際の製造現場を知らない人でも理解しやすいようにイラストや表を使ってわかりやすく解説した入門書です。半導体製造装置の種類や機能、それぞれの装置が半導体ファブ（工場）でどのように結びついているのかなど、最新情報がわかります。