図解入門 よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み［第2版］

半導体ビジネスに関わりたいとお考えのあなた。実際の半導体製造装置がどのようなものか、ご存知でしょうか。本書は、半導体製造装置について、実際の製造現場をしらない人にも理解しやすいようイラストや表を使いながら図解する入門書の第2版です。半導体製造装置の種類や機能、それぞれの装置が半導体ファブ（工場）でどのように結びついているのか、監査・測定・解析装置はどようなものかなど、半導体製造技術を幅広く俯瞰します。